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高性能靶材

靶材是指通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。通过向基靶内添加稀土元素来改良靶材性能的靶材称之为高性能靶材。
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