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来源：叶南晶|
发表时间：2023-02-24
点击：2330
高真空电子束蒸发系统 性能指标
基座可公转旋转, 最高转速20 rpm，5～20 rpm可调
乘载盘承载最大4英吋样品(可放小于4吋的样品或破片)
镀膜均匀性: 4英寸范围内薄膜厚度均匀性优于±2%
极限真空度优于 3 × 10-7 Torr
抽气效率：atm to 3 × 10-6 Torr < 25min
atm to 5 × 10-7 Torr < 55min
电子束蒸发源 × 1，坩埚容量：分子7 cc，坩埚数量4，自动旋转坩埚，电子束可扫描
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上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490 F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076 M: 886-939-653-958
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