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首台ASML光刻机搬入！中国首座12英寸车规级功率半导体晶圆厂

来源：新材料在线|

发表时间：2022-11-28

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11月18日，上海鼎泰匠芯科技有限公司（以下简称“鼎泰匠芯”）洁净室交付ASML光刻机搬入仪式在上海临港新片区举行。

图片来源：上海钢结构

这意味着，首台ASML光刻机搬入，中国首座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心即将投入生产。

根据鼎泰匠芯官方消息显示，临港重装备产业区F16-01地块项目，位于上海市浦东新区南汇新城镇，东至新元南路，西至鸿音路，北至万水路，占地约198亩，总建筑面积达204059.7平方米，总投资超120亿元。

待该项目全面达到预期产能后，可实现年产能约36万片12英寸功率器件（POWER MOS）晶圆片，主要生产MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件产品。同时，还将同步推动建成芯片设计、5G智能硬件和AI/IOT模块设计的研发总部，助力上海成为国际一流的半导体和5G产业创新高地。

资料来源：集微网、鼎泰匠芯

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