客户端

有材APP下载

新材料在线APP下载

寻材问料下载

开通会员

精彩推荐

会员享研报折扣价、看项目BP、约投资人、每日在通讯录加更多好友等特权

开通会员 查看会员特权

登录/注册

热门媒体号

热门企业号

为什么超纯水在半导体等行业中具有很高的重要性

来源:南通麦科自动化科技有限公司|

发表时间:2022-11-14

点击:1660

为什么超纯水在半导体行业生产中具有很高的重要性

超纯水系统被称之为半导体行业的血脉,半导体行业又是一个高能耗的行业,在半导体产品制造过程中,由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求。


在芯片、集成电路等生产中,由于半导体元件集成度高,生产线窄,对水质要求特别高,超纯水成为了电子行业的“标配”,超纯水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良,重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低,III族元素 (B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化,V族素(P、As、Sb等)会使P型半导体特性恶化,水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的20%~50%) 会使P型硅片上的局部区域变化为N型硅而导致器件性能变坏。水中的颗粒(包括细菌)如吸附在硅片表面,就会引起电路短路或特性变差。可见,超纯水在半导体行业中的重要性。


半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18 MΩ.cm、15 MΩ.cm、10 MΩ.cm、2 MΩ.cm、0.5 MΩ.cm)、我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。


国内的超纯水设备厂家很多,工艺也比较透明,目前的超纯水设备工艺是二级反渗透 EDI装置 出水电阻率达到15兆欧,或者双级反渗透系统 EDI 抛光混床工艺,出水电阻率可达18兆欧。


超纯水系统的主要部件之一是RO反渗透膜,RO膜的价格和寿命是超纯水系统设计中重要的考虑因素,假如反渗透膜都采取国外进口,超纯水设备价格会超出许多,虽然国外反渗透膜超滤膜起步比我们早,但国内一些优秀的膜厂家经过多年精进发展,产品质量稳定,而且售前售后服务也比较到位,价格较进口膜有很大的优势,市场占有率越来越高。


在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“由多介质过滤器 活性碳过滤器”,传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般大于5,不利于后续的一级反渗透系统的运行。而超滤装置的出水SDI值比较稳定,通常可保证SDI<3,能够有效地保证一级反渗透系统的运行,且对比传统的预处理方式占地面积大的缺陷,为企业节省较高的基建费用。


南通麦科在水处理行业深耕多年,结合市场对半导体制造等行业的需求,为各行业设计成熟、可靠、自动化程度高、高性能、高性价比的超纯水设备,不但出水电阻率能稳定达到生产需求,且优化整套工艺,综合一次性投资成本和后期运行维护费用,能有效保障后期处理设备的安全,延长设备的使用寿命。


100大潜力材料

[声明]本文由新材料在线平台入驻企业/个人提供,文章内容仅代表作者本人,不代表本网站及新材料在线立场,本站不对文章内容真实性、准确性等负责,尤其不对文中产品有关功能性、效果等提供担保。本站提醒读者,文章仅供学习参考,不构成任何投资及应用建议。如需转载,请联系原作者。如涉及作品内容、版权和其它问题,请与我们联系,我们将在第一时间处理!本站拥有对此声明的最终解释权。

点击咨询

客服

下载APP

公众号

让客服与您联系

留下您的联系方式,让客服为您提供专属服务

关闭