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来源：新华网|
发表时间：2018-11-29
点击：10597
据了解，这种超分辨光刻装备制造的相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、电子科技大学、四川大学华西医院、中科院微系统所等多家科研院所和高校的重大研究任务中得到应用。
本文封面图来源于图虫创意
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