新突破！韩国研究人员成功将纳米线转移到柔性衬底

纳米线具有优异的物理和化学性质，适合于制造柔性电子产品，因此，为了提高器件的性能，开发可以转移排列整齐的纳米线技术将至关重要。

韩国高等科学技术研究院(KAIST)的一个研究小组成功地开发了纳米线转移技术，该技术有望超越现有的基于化学反应的纳米线制造技术。到目前为止，我们知道现有的纳米线制造技术具有适用性不好，生产率低，还有其他的综合性能都比较差的缺点。

在柔性衬底上制作的晶圆尺寸全对齐和超长Au纳米线阵列照片。

纳米线作为最著名的纳米材料之一，具有体积小、重量轻的优点，因此纳米线转移技术因其能够制备性能好、极简化和高通量的柔性纳米器件而备受关注。

传统的纳米线制造方法通常具有不规则性问题，这是因为传统方法是将化学合成的纳米线混合在溶液中，并将纳米线随机地分布到柔性衬底上，这势必使制造的纳米线具有不规则性。

因此，出现了许多纳米加工工艺，其中一种工艺是基于主模的纳米阵列，这种工艺中，高度有序的纳米线阵列能够以简单高效的方式嵌入到基板上，以此来转移纳米线。但由于其基于化学的NW转移机制具有复杂性而且消耗时间，因此该工艺的应用仅限于某些材料。要想成功地转移纳米线，需要有足够的化学物质来控制主模、纳米线和柔性衬底之间的化学界面粘附能力。

在这里，来自电气工程学院的Jun-Bo Yoon教授和他的团队提出了一种基于材料独立的机械联锁纳米线转移(Mint)方法，该方法以非常有效的方式在大型柔性衬底上制造超长和全对齐的纳米线阵列。

这种方法的具体过程是在纳米光栅基片上依次形成纳米层和纳米线，使纳米层成为转移的主模，然后通过干法刻蚀过程削弱纳米层结构，纳米层在主模上保持纳米线的能力很弱，因此，当使用柔性基板材料时，纳米线很容易从主模转移到基板上，该过程就像一条胶带利用粘性除去地毯上的灰尘一样。

该技术采用了常见的物理气相沉积技术，该技术的优点在于不依赖于纳米线材料，这使得在柔性衬底上制备纳米线将变得更加容易。

利用这项技术，该团队制造出了多种多样的金属和金属氧化物纳米线，其中包括黄金、铂和铜的纳米线，制造的这些纳米线都完美地排列在柔性基体上。他们还通过实验证实，制造的纳米线可以成功地应用于柔性加热器和气体传感器，从而在日常生活中创造稳定和适用的设备。

领导这项研究的Seo博士说：“我们已经成功地将各种具有优异物理性能的金属和半导体纳米线整合到了柔性衬底上，并将它们应用于制造设备。作为一种平台技术，该技术将有助于开发高性能和稳定的电子设备。”

原文来自nanowerk，原文题目：Researchers perfectly transfer nanowires onto a flexible substrate，由材料科技在线团队翻译整理。