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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC75

来源:叶南晶|

发表时间:2021-03-04

点击:1373

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 75, 紧凑栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >250 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用.

离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.


伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75技术参数:

 离子源型号

 离子源 KDC 75 

Discharge

DC 热离子

离子束流

>250 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

7.5 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

2-15 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

20.1 cm

直径

14 cm

中和器

灯丝

可选一个阴极灯丝可调角度的支架


伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域:

1.溅镀和蒸发镀膜 PC

2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

3.表面改性激活 SM

4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

5.离子蚀刻 IBE

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